구미서 반도체용 초순수 생산기술 국산화 첫걸음

SK실트론 구미2공장에서
총사업비 480억원 규모
초순수 실증플랜트 착공식

반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫걸음이 구미에서 시작됐다.

지난 16일 SK실트론(주) 구미2공장에서 한정애 환경부 장관과 장세용 구미시장이 참석한 가운데 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’이 열렸다.

‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트’는 SK실트론, 한국수자원공사, 한국환경산업기술원 등이 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위해 진행하는 사업이다. 민·관 공동으로 오는 2025년까지 총 480억원 규모로 △초 저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 △초 저농도 용존산소 제거용 탈기막 △고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.

이번 실증플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 SK실트론 구미2공장에 설치해 해외기술과 국내기술을 직접적으로 비교하고, 실제 초순수를 공급함으로써 관련 기술의 실적을 확보할 수 있을 것으로 기대된다.

한국수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2천400t의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치·운영해, 관련 생산공정의 설계·운영 기술 100％, 시공 기술 및 기자재 60％ 국산화를 목표로 한다.

반도체산업 외에도 전자, 의약, 철강 등 다양한 국가 핵심 산업에서 사용되는 초순수 분야 세계 시장 규모는 2024년 23조원 규모까지 성장할 것으로 전망되며, 반도체용 초순수 시장은 2026년 전 세계 약 5조원, 국내 1조5천억원으로 예상된다.

초순수(Ultra Pure Water)는 초미세 회로(nano meter, 10-9m)로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는 데 사용되는 필수 공업용수다. 초순수 내에 불순물이 거의 없는 상태(유기물 0.01ppm 이하)로 유지해야 하는 최고난도 수처리 기술로서 전 세계적으로 일부 선진국만이 초순수 생산기술을 보유하고 있다.

구미/김락현기자 [e-mail]