혼산은 질산이 43%, 불산 9.8%, 초산 19.6%로 반도체 웨이퍼 생산제품 세척용 화공 약품이다. 지난 2일 오후 8시께 발생한 이번 사고는 반도체 제조업체인 LG 실트론 2공장에서 웨이퍼 제조공정 중 하나인 에칭 공정에 사용되는 혼산이 필터링중 용기 덮개에 이상이 생기면서 누출돼 일어났다,
사고가 나자 회사 측은 즉시 흡착포 등 방제장비를 이용해 혼산 차단작업에 나선 후 산업안전공단 등 관련기관에 즉시 연락을 취했다.
특히, 이날 사고 현장에는 11명(생산 9명, 장비2명)이 작업하고 있었으나 즉시 방제조치로 인명피해는 없었다. 사고를 낸 LG 실트론은 구미시 임수동에 있는 회사로 외부 가공업체로부터 연간 20t가량 혼산을 사용하나 저장탱크는 없는 실정이다. 경찰은 정확한 사고 경위를 조사중이다.
구미/남보수기자
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